Bestimmung linearer und nichtlinearer elastischer, piezoelektrischer und dielektrischer Eigenschaften von Aluminium-Scandium-Nitrid-Schichten in Abhängigkeit der Scandium-Konzentration
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Kurzbeschreibung
Es handelt sich um ein Forschungsprojekt, das zusammen mit Prof. O. Ambacher und seiner Arbeitsgruppe an der Universität Freiburg durchgeführt wird. Ziel ist die Bestimmung linearer und nicht-linearer elastischer Eigenschaften piezoelektrischer Filme. Dies soll mithilfe sich ergänzender Methoden wie dem Laser-Ultraschall-Verfahren und der Auswertung des elektrischen Responses von Oberflächenwellenresonatoren mit unterschiedlichen Resonanzfrequenzen erreicht werden.